品牌百诚型号高真空磁控溅射镀膜机 材质不锈钢驱动方式电动 原理镀膜机流量0（m3/h） 扬程0（m） 转速0（rpm） 轴功率0（kw） 大抽气量0（m3/min） 吸入口径0（mm） 排出口径0（mm） 功率2kw

特点及用途：该设备为高真空磁控溅射镀膜机。镀膜室、阀体及管道全部采用不锈钢材料;连接法兰采用cf及kf结构；基片旋转，旋转轴为磁流体传动方式。此设备可以在高真空条件下制备各种单层及多层金属膜、介质膜、合金膜等。

产品结构：由镀膜室、真空机组（主泵采用涡轮分子泵），真空测量及控制系统、工件安装盘升降旋转系统、气路系统、计算机（plc）辅助控制系统组成。

技术指标：极限压力：3x10-5pa 靶径：ø50

抽气速率：110l功率：2kw

启动时间：≤20min漏率：≤1x10-7pa.l

镀膜室尺寸：ø350x350